支持双臂机器人和预对准系统的集成和全自动化，晶圆尺寸涵盖100mm~300mm，在支持高精度检测的同时，提供高WPH效率，支持选装2D/3D模块化光学系统。标准模块2D系统，可达到250nm的表面缺陷检测和50um的金属凸点直径或高度检测，可实现在线数据收集与统计，便于客户进行生产效率与品质的分析与优化，以达到可视化生产管理。